LAGARRIGUE, M. Patrick (2025) Capacitively-Coupled Plasma modelling through 1D Particle-In-Cell code PFE - Projet de fin d'études, ENSTA.
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Résumé
Ce stage s’intègre dans la recherche sur les plasmas froids couplés capacitif, utilisés pour la gravure de semi-conducteurs dans l’industrie de la micro-électronique. Notre travail repose sur les simulations numériques du code PIC XPDP1 développé par Prof. John P. Verboncoeur et son équipe. L’objectif du stage est d’étudier l’influence des différents paramètres de contrôle du plasma et d’en interpréter les résultats et les comparer à la théorie existante.
| Type de document: | Rapport ou mémoire (PFE - Projet de fin d'études) |
|---|---|
| Informations complémentaires: | Contact du tuteur au laboratoire LPP (X) : Pascal CHABERT pascal.chabert@lpp.polytechnique.fr |
| Mots-clés libres: | Plasma, electron, ion, argon, sheath, voltage, density, flux, power, ionization |
| Sujets: | Mécanique des fluides et énergétique |
| Code ID : | 10812 |
| Déposé par : | Patrick LAGARRIGUE |
| Déposé le : | 07 oct. 2025 17:15 |
| Dernière modification: | 07 oct. 2025 17:15 |
